膜式气浮隔振光学平台-福州大学

JC-SPQ-M-2412-L产品参数：

1、外形尺寸：2400x1200x800mm；

2、隔振方式：采用半膜片式空气弹簧，隔振性能好，自动平衡 自动充气，响应时间短，平衡速度快；

3、阻尼方式：超小孔气流阻尼；

4、固有频率：垂直1.5-2.0Hz，水平1.2-2.0Hz同负载和实际使用情况相关；

减振效率：垂直： 5Hz 时 ：79-88％； 10Hz 时 ：83-90%

水平： 5Hz 时 ：77-87％； 10Hz 时 ：82-90%

5、最大扰动系数：1.1x10⁻³ 

6、重复定位精度： ±0.05mm；

7、最大相对位移：0.22nm；

8、表面粗糙度：表面粗糙度为0.8μm；

9、台面结构：三层夹心式蜂窝结构；

10、上台面：采用6mm 厚430高导磁不锈钢，表面做密迪纹亚光处理（避免台面反光）；

11、台面内部支撑：钢制蜂窝状支撑结构；

12、下底面：4mm厚碳钢，内部做防锈漆，表面喷黑塑处理；

13、侧板：内层碳钢板，外层为黑色铝塑板，美观实用，四角用不锈钢板包角；

14、平面度：0.05mm/㎡；

15、台面孔距/孔径：孔距；25mmX25mm   孔径；M6国标公制螺纹，孔边距37.5mm；

16、台面厚度/重量：200mm厚度台面；     台面重量：430公斤；

17、气浮支撑：半膜片式空气弹簧，支撑腿内部还有二级气室，进一步提升隔振性能，4支撑整体焊接式支撑结构，具有更好的刚性和稳定性，支架带上下高度（水平）调整机构,台面加支架总高度800mm，上下可调25mm，带脚轮。

18、平台负载：1500kg。

19、传感器及气压监测器：采用台湾进口产品，控制进气流量及平台实时气压监测，有效及保护气囊提高隔振性能及平台稳定性。

20、标配无油静音气泵 噪声＜45分贝。