三线摆气浮隔振光学平台-吉林大学

技术参数：

1、外形尺寸：2000x1200x800mm；

2、隔振方式：采用三线摆杆空气弹簧，隔振性能好，自动平衡 自动充气，响应时间短，平衡速度快；

3、阻尼方式：微米级层流阻尼；

4、固有频率：垂直＜1.0-1.5Hz；水平＜1.0-1.5Hz（同实际负载相关）垂直共振低至1hz；

减振效率：垂直：5Hz时：85-90％；10Hz时：91-96％

        水平：5Hz时：87-92％；10Hz时：92-97％

5、振幅：＜1μm；

6、重复定位精度： ±0.05mm；

7、表面粗糙度：表面粗糙度为0.8μm；

8、台面结构：三层夹心式蜂窝结构；

9、上台面：采用6mm 厚430高导磁不锈钢，表面做密迪纹亚光处理（避免台面反光）；

10、台面内部支撑：钢制蜂窝状支撑结构；

11、下底面：4mm厚碳钢，内部做防锈漆，表面喷黑塑处理；

12、侧板：内层碳钢板，外层为黑色铝塑板，美观实用，四角用不锈钢板包角；

13、平面度：0.05mm/㎡；

14、台面孔距/孔径：孔距；25mmX25mm   孔径；M6国标公制螺纹，孔边距37.5mm；

孔距精度：±0.05mm    沉孔精度：±0.05mm      孔垂直度：±1°

14、台面厚度/重量：200mm厚度台面；     台面重量：380公斤；

15、气浮支撑：三线摆杠空气弹簧，支撑腿内部还有二级气室，进一步提升隔振性能，单个最大负载900kg。整套系统需要4个隔振器；

16、平台负载：3000kg。

17、传感器及气压监测器：采用台湾进口产品，控制进气流量及平台实时气压监测，有效及保护气囊提高隔振性能及平台稳定性。