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该设计最大的特点在通过高转速的伺服电机与减速机的配合，实现平台既能满足高速毫米运动，也能实现低速微米运动。
技术参数：
l X轴行程100mm；
l 升降轴重复定位精度：
l 升降轴绝对定位精度：
l 最大速度：1mm /s；最低速度：1μm/s
l 最大中心负载：20kg
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