三线摆气浮隔振光学平台

尺寸可以按需求定制

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产品内容

SPT系列科研气浮隔振光学平台

应用领域：

适合于高倍数电子显微镜、扫描探针显微镜、激光干涉仪、激光共聚焦显微镜等领域应用

产品特点：

■我司依托于光电子产业科研工作人员，研发制造的一款高性能隔振光学平台，能够满足精密负载对振动隔离需求，且面向大多数设备仪器提供通用化隔振解决方案，改善振动环境，以发挥设备仪器的最佳效能；

■高性能气动减振器，共振频率最低1Hz；

■混合腔设计最大程度的提高了工作稳定性与极低的固有频率；

■支腿顶部配有安全连接件，大大提升安全性；

■微米级层流阻尼；

■SMC纳米级高流量气动执行元件。

技术指标：

■隔振方式:三线摆杆、混合腔结构。

■阻尼方式：微米级层流阻尼。
■固有频率；垂直＜1.0-1.5Hz；水平＜1.0-1.5Hz（同实际负载相关）垂直共振低至1hz。

■减振效率：垂直：5Hz时：85-90％；10Hz时：91-96％

水平：5Hz时：87-92％；10Hz时：92-97％

■振幅：< 1μm

■重复定位精度：±0.05mm

■气源：标配静音空气压缩机；噪音：52db

产品型号：（接受客户任意规格定制生产）